생산 공정을 위한 가차 압력, 정렬 및 평탄도에 대한 확신이 필요한 제조 엔지니어를 위한 XSENSOR의 산업용 센서는 가장 정확한 압력 프로파일을 제공합니다.

부정확한 품질 보증 테스트는 비용이 많이 들며 비즈니스 및 생산성이 손실되어 최악의 경우 주요 책임 문제를 일으킬 수 있습니다.

웨이퍼 연마와 같은 제품 응용 제품의 경우 균일한 압력을 확인하는 것이 생산 수율의 핵심입니다 - 젖꼭지 또는 핀치 롤러에 의존하는 제품을 제조하는 경우 무게가 균등하게 분포되도록 하는 것이 생산 표준을 유지하는 데 중요합니다.

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개요

반도체 가공

반도체 처리 결함을 제거합니다.

실리콘 웨이퍼 연삭 장비가 균일한 압력을 적용하고 가장 작은 결함도 웨이퍼를 손상시키지 않도록 하십시오.

고정밀 고해상도 LX 센서를 사용하여 연마 헤드의 압력 프로파일을 평가할 수 있습니다. 이는 장비가 한 번에 미크론을 제거하도록 설계된 웨이퍼 연마 응용 분야에서 특히 중요합니다.

01

INLINe 품질 보증

제조 공정에서 인라인 품질을 극대화합니다.

인라인 품질 보증 테스트를 위해 자동화된 테스트 절차에 압력 센서를 사용합니다.

재료가 성능 및 제조 결함에 대한 수용 매개 변수를 충족하는지 확인합니다.

시트 구조, 폼 또는 개스킷 재료와 같은 제품의 표면 압력을 테스트합니다.

02

표면 적합성 측정

젖꼭지와 핀치 롤러에 정렬을 유지합니다.

닙과 핀치 롤 간의 압력 분포를 확인합니다. 전체 접지 영역에서 연속 두께와 압축성을 얻을 수 있습니다.

닙 롤러 센서를 사용하면 롤러의 균형을 방해하지 않고 압력 분포를 측정할 수 있습니다.

감지 요소를 최대화하고 측정 시 전자 노이즈를 제거하는 독점적인 다이아몬드 모양의 설계를 사용하여 당사의 센서는 닙 풋프린트의 가장 정확한 시각화를 제공합니다.

03

사양 및 성능

XSENSOR의 공정 제어 및 검증 센서는 제품 또는 공정 인터페이스를 특성화하기 위해 정확한 반복 가능한 측정을 제공합니다. 적용된 압력의 균일성과 크기를 이해합니다.

빠른 응답 시간, 최소한의 드리프트 및 히스테리시스는 인라인 품질 보증 테스트를 위한 일관된 측정을 보장합니다. 안정적인 교정을 통해 센서를 재보정 없이 항상 사용할 수 있습니다.

빠른 설정과 해석하기 쉬운 그래픽 및 시각적 측정 프레젠테이션을 통해 귀중한 생산 및 설정 시간을 절약할 수 있습니다.

정확하고 반복 가능한 압력 센서는 ±5% 정확도로 측정하므로 재교정 없이 수천 사이클에 대한 정확한 측정을 유지합니다.

1.2mm x 1.2mm의 센셀 크기를 가진 높은 공간 해상도는 가장 작은 표면 피처의 압력 세부 정보를 제공합니다.

0.01 psi의 빠른 센서 응답과 센서 해상도는 인터페이스 압력의 가장 작은 변화도 포착되도록 합니다.

초박형 감지 영역인 LX 센서는 1mm 미만이며 윤곽이 정확한 표면을 정확하게 측정할 수 있습니다.

산업 응용 프로그램의 요구를 충족하는 데 사용할 수있는 사용자 정의 커버 재료.

분석 또는 직접 데이터 수집 옵션을 위한 포괄적인 소프트웨어 툴킷입니다.

공정 제어 및 검증
센서
해상도 mm(In)
케이스 사용
압력 범위
N/cm2(psi)

감지 영역
cm x cm (x In)

LX100:100.100.10

2.54 (0.1)

웨이퍼 폴리싱

0.07 - 2.7
(0.1 - 3.87)

25.4 x 25.4
(10 x 10)

LX100:100.100.10

2.54 (0.1)

개스킷 씰

0.14 - 10.34
(0.2 - 15)

25.4 x 25.4
(10 x 10)

LX205:64.128.10

2.54 (0.1)

중간 분무 압력

0.07 - 10.3
(0.1 - 15)

16 x 32
(6.3 x 12.6)

LX100:50.50.05

5.08 (0.2)

저압 스프레이

0.07 - 2.7
(0.1 - 3.9)

25.4 x 25.4
(10 x 10)

IX510:128.128.05

5.08 (0.2)

고분 압압

3.4 - 207
(5 - 300)

25.6 x 25.6
(10.1 x 10.1)

IX510.31.96.40-04

0.64 x 6.4
(0.025 x 0.25)

닙 롤러

0.7 - 88.3
(1 - 128)

2 x 61
(0.8 x 24)

PX100:10.160.10-05

2.54 x 5.08
(0.1 x 0.2)

앞 유리 와이퍼

0.07 - 2.7
(0.1 - 3.9)

2.54 x 81.3
(1 x 32)

IX510:18.45.08

3.18 (0.125)

브레이크 패드

6.9 - 353
(10 - 512)

57.2 x 14.3
(22.5 x 5.6)

카탈로그

제품 카탈로그

이 포괄적인 테스트 및 측정 제품 카탈로그에서 XSENSOR 제품 설계 및 안전 테스트 제품 및 센서 사양에 대한 최신 정보를 얻을 수 있습니다.

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